镀膜系列磁控溅射镀膜仪

1Cr18Ni9Ti优质不锈钢材质，氩弧焊接，上开盖和前开门结构
机械泵+分子泵（国产或进口可选）， 极限真空优于8*10-5Pa（设备空载抽真空24h），大气~8*10-4Pa≦30min；采用电阻电离一体化真空规管读取真空度；阀门采用电磁驱动挡板阀和手动限流阀
蒸发源采用3组水冷铜电极，蒸发电源采用2KW逆变式电源，配源间防污隔板可拆卸式，尺寸60*60mm，旋转：0-20r/min可调，可加热至300℃，可选水冷或是带角度调节功能的基片台可选配进口或国产膜厚监控仪在线监测和控制蒸发速率、膜厚PLC+触摸屏智能控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障，实现一键抽停真空L60cm×W60cm×H96cm 机电一体化机架，预留1个CF35法兰接口